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IC・電子部品 2017.02.23

ナノインプリント向け量産用マスクレプリカ製造装置を製品化

基板の窓口編集部

キヤノン(株)は、ナノインプリント技術を用いた半導体製造装置用のマスクを低コストで複製する、量産用マスクレプリカ製造装置『FPA-1100NR2』を製品化し、ナノインプリント用マスクのリーディングサプライヤーであるDNP(大日本印刷)グループに納入する。

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基板の窓口編集部

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カテゴリ:IC・電子部品

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