株式会社清和光学製作所

清和光学製作所は、創業70年を超えるレンズ専業メーカーとして培ってきた光学技術を活用し、半導体、フラットパネルディスプレイ、電池分野向けの製造・検査装置を展開しています。近年は医療分野にも進出し、レーザー関連装置などの開発にも取り組んでいます。

今回の展示では、SWIR（短波長赤外線）を活用した半導体向け内部検査装置を紹介しました。SWIRはシリコンを透過する特性を持つため、シリコン内部の構造確認や、ボンディング後のウェハーの位置ずれ検査などに活用されています。同社では独自の高性能レンズ技術を組み合わせることで、高精度な内部観察を実現しているとのことです。

近年の半導体製造では、ウェハーボンディングや表裏両面へのパターニング工程が増加しており、わずかな位置ずれがデバイス性能に大きく影響します。同社の検査装置は、こうしたずれを高精度に検出し、その結果を製造装置へフィードバックすることで、製造精度の向上に貢献しています。

すでにパワーデバイスメーカーやCMOSメーカー、メモリメーカーなど約20社への導入実績があり、近年需要が高まるチップレットや先端パッケージング分野への展開も進めています。