特集記事

株式会社BBS金明

SiCウェハーを水で研磨!SiC専用エッジポリッシュ装置「FINE SURFACE E-200 SiC」

株式会社BBS金明は、SiCウェハーを水のみで研磨する独自技術を用いた製品を提供している。同社の装置は、特にウェハーの外周をポリッシングする機能に特化している。

シリコンウェハーの外周ポリッシングは一般的にウェハーの強度向上やパーティクル削減を目的としており、同社の製品はこれをSiCウェハーにも応用可能にしている点が特徴である。

シリコン分野ではグローバルで約7割の納入実績を誇り、SiCに関しても高い期待を寄せられている。評価やデモテストを希望する場合には、気軽に相談が可能である。

詳細:https://www.bbskinmei.co.jp/products-semiconductor/

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