ウエハー透過観察対応のマイクロスコープユニット

光学機器メーカーの千代田光機株式会社（本社＝東京都八王子市）は、顕微鏡・医療用光学機器・精密光学レンズ系の製造を手掛ける。主な製品は、装置組み込み用マイクロスコープユニットや研究用生物顕微鏡、双眼実体顕微鏡、精密測定機用光学系、画像通信用光学系、各種レーザー・ビーム光学系工業用レンズ・プリズムなど。
最先端マシンビジョンが集結する展示会「国際画像機器展2025」（会期は2025年12月3～5日）では、パターンウエハーの裏面からウエハーを透過して、表面のパターンを撮像する顕微鏡ユニットを紹介した。

組み合わせるユニットは、マイクロスコープユニット用対物レンズ「COXシリーズ」、小型マイクロスコープユニット「CMXシリーズ」。
「COXシリーズ」は無限遠補正光学系のため、マイクロスコープユニットと組み合わせれば、さまざまなアプリケーションに対応する。同焦点距離（焦点を合わせたときの対物レンズの胴付き面から物体面までの距離）は95mm。
レンズは超長作動距離明視野対物用（倍率は2～100倍）と近赤外対物用（倍率は5～50倍）で計11種類をラインアップする。
「CMXシリーズ」はFA（ファクトリーオートメーション）に特化した装置組み込み用のマイクロスコープユニット。
主な特長は
①無限遠補正対物レンズを使用するハイエンド向け
②小型、軽量で装置に搭載されることを考慮したコンパクトな設計
③同軸落射式照明が内蔵されており、鏡面状のワーク（加工対象物）に対しても高分解能で撮像が可能
④高NA（開口数）対物レンズのリアルな顕微鏡画像の描写を実現
となる。
適用波長域は可視光から短波赤外線（SWIR、400～1700nm）まで。同社以外の対物レンズも取り付けが可能だ。