ボンディング品質を支える光学検査技術

半導体産業展2026にて、株式会社清和光学製作所様に製品・サービス紹介をしていただきました。

70年の歴史を持つレンズ専業メーカーの株式会社清和光学は、半導体やフラットパネル、医療分野など多岐にわたる製造装置を手掛けています。

同社が注力しているのが、SWIR（短波長赤外線）を活用した内部検査装置です。SWIRはシリコンを透過する特性があり、同社が培ってきた高性能レンズと組み合わせることで、シリコン内部の欠陥やウェハ接合時のズレを高精度に検出します。検査データを接合装置へフィードバックして補正を行うことで、高品質なボンディングウェハの製造に貢献します。

本装置はパワーデバイスやCMOS、メモリーのメーカーなど約20社で導入実績があります。近年はWafer-on-WaferやCoWoSをはじめとするアドバンスドパッケージ工程でのニーズも高まっており、同社は今後も先端領域への展開を推進していく方針です。