株式会社マイクロサポート

株式会社マイクロサポートは、微細な作業や分析前処理を支援する高倍率観察装置「アクシスプロ」を紹介しました。同製品は、中央に配置されたマイクロスコープと左右の電動マイクロマニピュレーターを組み合わせたシステムで、観察から精密操作までを一体的に行えることが特徴です。

装置で捉えた映像はモニターに表示され、オペレーターはマウス操作によって電動マイクロマニピュレーターを制御できます。これにより、人の手では困難な微細領域での作業を高精度に実施可能です。主な用途としては、分析装置にかける前の試料前処理や、生産工程で発生した異物の除去・回収作業などが挙げられます。特に、回収した異物を分析するための前処理工程において、高い有効性を発揮します。

同社は比較的小規模な企業ながら、半導体製造装置メーカーや防衛関連企業、精密機器分野の企業をはじめ、官公庁や大学、研究機関などへの導入実績を有しています。

今回の展示会では、半導体業界へのさらなる認知拡大を目指し、同装置の活用可能性を積極的に提案していました。