コフロック株式会社

コフロック株式会社の主力製品であるマスフローコントローラー（MFC）は、流体の流量を一定に制御するもので、半導体産業をはじめ多岐にわたる産業分野で活用されている。

同社は今回、新製品「ST-500」を発表した。この製品は「プレッシャーインセンシティブ（圧力鈍感性）」を特徴とし、急激な圧力変化に過剰反応せず、安定した制御を実現する。圧力センサーを独立して搭載することで、従来製品の課題であった流量乱れを抑制し、高精度な計測制御が可能である。特に、CVD装置やエッチング装置などの半導体製造プロセスにおいて、ガス圧力変動の影響を最小化し、プロセスの安定化に貢献する。

2024年1月の発売以降、通信規格「DeviceNet」に加え、「EtherCAT」通信にも対応を拡大しており、国内外での実績拡大を目指している。

詳細：https://www.kofloc.co.jp/product/product-4653/