フエスト株式会社

フエスト株式会社の主力製品の一つであるピエゾバルブは、従来の空気圧機器が抱えていたアナログ制御の限界を打ち破り、デジタルによる高精度な空気圧制御を可能にする独自技術である。同技術は、高精度・高速度・低消費電力のモーション制御を実現する。

特に、半導体製造装置分野では、エアシリンダーの動作を滑らかに開始・停止させることができるため、ウェハーの不具合の原因となっていたパーティクル発生を抑制できる。

同製品は、韓国や台湾、北米、日本の大手ユーザーに受け入れられ、実際の工場での稼働や評価が進行おり、今後も需要の増加が見込まれている。

詳細：https://www.festo.com/jp/ja/