ウルトラフローSC　クイック・カップリング

セインのウルトラフローSCは、ネジ接続またはダブルフェルールチューブフィッティング付きのウルトラフロー特別バージョンである。半導体製造工程で使用される液冷システム向けに特別設計されたステンレス・スチール製。フラット・フェースデザインのため付け外しの際に液だれがなく、クリーン環境汚濁防止、高い地球温暖化係数を持つ液体冷媒の漏出防止に有効である。また、低圧力損失かつ高い流量特性により、システム全体のエネルギー効率向上にも貢献する。

半導体の小型化、高速化に伴い、安全で信頼性の高い効率的な液冷ソリューションが求められている。以前はポペット式カップリングが使用されていたが、流体が多量に流出するため現在は採用されない。EUV、CVD、チラーなどの高精度な装置では、液だれを起こさないクイック・カップリングを使用する液冷システムが推奨されている。同社のウルトラフローは、液冷用途に特化し開発された液だれのない、低圧力損失かつ高い流量特性を持ったカップリングである。長期接続後の分離の際に起こりやすいバルブ作動不全による液だれリスクや、接続時に混入する気泡やエア溜まりが原因となる流量・圧力の低減を防止する設計である。

中でもウルトラフローSCは、半導体産業向けに特別設計されたカップリングとチューブフィッティングの一体構造「ダブルフェルールチューブフィッティング」により、チューブ、パイプ、ホースなどの様々なパーツをより迅速で安全、かつ液だれなく取り外すことができる。