メモリ向けプローブカード U-Probe

同社製品の「プローブカード」は、半導体の製造工程においてウェーハの電気的特性検査に使用される計測器具。「U-Probe」は、独自のMEMS技術を応用したMEMSプローブ「マイクロカンチレバー」と「薄膜多層配線基板」の製造技術を用いたメモリデバイス向けのプローブカードである。メモリ向けプローブカードにおいて、トップレベルのシェアを維持している。

同商品は、プローブカードにおいて業界最多の同測数を実現する。12インチウェーハの一括測定にも対応。最良の接触性で歩留まりを改善し、半導体製造の生産性向上に寄与する。