高速・高精度化と鏡面部品検査能力を高めた光学式外観検査装置を発売

ヤマハ発動機（株）は、ハイエンド・ハイブリッド光学式外観検査装置の超高速仕様「YSi-V 12M TypeHS」の後継機で、高速・高精度化を高めるとともに、鏡面部品の検査能力を高めた「YSi-V 12M TypeHS2」を8月1日から発売する。

「YSi-V 12M TypeHS2」は、画像処理ハードウェアと画像検査アルゴリズムの高速化を図り、3次元検査タクトを従来機比20％（※1）以上高速化した。特に部品搭載点数が多い高密度基板においては、従来機比約40％の大幅な高速化を実現している。

また高精細モードを新たに追加し、鮮明な3次元画像の取得を可能にした。分解能7μmの高精細タイプについては、専用3次元撮像用プロジェクタの光学系を一新して0201（0.25mm×0.125mm）サイズなどの極小部品に対する形状再現性を大幅に向上し、高さ測定の繰り返し精度を高めている。

さらに撮像パラメータの最適化と新開発のアルゴリズムの採用により、昨年来、市場での採用が急激に増えている薄型・高集積のWLCSPやFOWLP部品に対応可能な検査能力を実現した。

※1：1視野あたりの検査時間。3次元全面異物検査にて従来機「YSi-V 12M TypeHS」と標準モードにて比較

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