株式会社南陽

ASAPは、半導体製造装置の前工程で使用されるフォトリソグラフィ装置を提供している。主に6インチ以下の小口径のウエハ対応のレジストコーターやデベロッパー、焼成装置などを取り扱い、顧客のニーズに合わせたカスタムメイドの設計・製作を強みとしている。

ラインナップにはフルオートメーション装置から研究開発用のマニュアル装置までを揃え、幅広いニーズに対応可能である。

日本国内、中国、台湾、東南アジア市場に向けて累計300台以上の実績があり、30年にわたる経験から高い信頼性を誇っている。また、薬液使用量を抑えるプロセス提案も行っている。

詳細：https://www.asap-semi.co.jp/