2024.01.31
サファイア真空計
アズビル株式会社
MEMS加工技術でデポ対策を強化した新しい真空計
MEMS技術を用いてセンサ表面を凸凹に加工し、膜の付着を極力分断したり応力バランスを改良するなどの対策の結果、デポによるゼロ点シフト量は同社の従来製品であるサファイア隔膜真空計形SPGとの比較で1/10と大幅に改善された。
日々進化する半導体の成膜・エッチング工程において、使用されるガスの種類が増加している。ガスの種類によっては、左記工程で使用する真空計のセンサダイヤフラム上に膜が形成されてしまう、デポと呼ばれる現象が発生することがあり、真空計の調整頻度が増え計画通りに生産できないなど、ユーザーにとって大きな課題となっている。
同製品は2023年2月にリリースされた新製品にも関わらず、多数の実機評価と導入決定実績を有する。
