2024.01.31
Optical NanoGauge 膜厚計 C15151-01
浜松ホトニクス株式会社
超極薄膜の測定を可能にしたハイエンドモデル
「Optical NanoGauge 膜厚計」のハイエンドモデル「C15151-01」がリリースされた。高出力・高安定な白色光源を採用し、超極薄膜の膜厚測定を実現した。高速かつインラインでの測定にも対応可能である。
半導体デバイスの進化に伴いデバイス構造が複雑化するなか、微細構造のリアルタイムでの測定・プロセス監視が求められている。ガラスで1nmからの極薄膜測定が可能であり、インライン測定にも対応が可能なため、半導体デバイスの安定的な生産に貢献できる。
同シリーズは半導体に限らず幅広い採用実績を有する。
