顕微鏡サーモグラフィ「サーマルヴューX　MCRシリーズ」

顕微鏡サーモグラフィ「サーマルヴューX MCR」は、ミクロンレベルの大きさで温度計測することができる。通常のサーモグラフィではできない1㎜を切るような狭い範囲の温度計測が可能。独自のキャリブレーションと補正機能で細かい温度計測を可能にし、動画計測や差分計測など分析に必要な機能を備えている。半導体業界他、MEMS、カーボンニュートラルに関係する多くの分野で用いられている。

近年、全てのデバイスが小さくなっているが、小さくなれば発熱しやすくなり、想定外の異常発熱をする可能性が高まる。異常発熱の特定やその温度分析、あるいは熱損失を最小にする高効率なデバイスを開発する必要性が高まっている。しかし、小さすぎると熱電対を貼ることができず、特有のノイズも発生する。通常のサーモグラフィでは、ミクロンレベルではぼけてしまうため温度計測ができない。それらを解決したのがサーマルヴューX MCRである。

過去10年近くにわたり微小領域の温度計測に企業、大学、その他研究機関で用いられている。サーマルヴューX MCRを用いて研究した海外のジャーナルに顧客の研究論文が掲載されている。