2024.01.31
AI欠陥検出システム Tran AI Wafer Defect Detection System
リックス株式会社
AIでウェハーの欠陥検出
TRANCOM社のAI欠陥検出システム「Tran AI Wafer Defect Detection System」によるウェハーの欠陥検出は、AIにより正確さと高速化を同時に実現している。いちからの機械学習が不要で、八割程度の状態から使用が可能。また同社では台湾国内で評価の高い配管接続作業用の薬液・スラリー供給システム「TRUSVAL：Hook Up/ W-H2SO4 de H2O2」「HANSTECH：CLEAR PVC/ WAT Ceramic PCB」を取り扱う。
AI欠陥検出システム： これまで人手による目視検査であったウェハー欠陥検査を、AIシステムにより自動で正確かつ速く対応することが可能になる。
配管接続作業用薬液・スラリー供給システム：コスト削減・安全操業・リサイクルが可能となり、環境に配慮した工場運営が可能となる。
AI欠陥検出システム：ウェハー1枚あたり0.2秒、検出率98.5%の高精度を実現する。ユーザーの既設装置に組み込み可能であり、ウェハーのスループットやサイクルタイムにも影響を与えない。
配管接続作業用薬液・スラリー供給システム：台湾の大手半導体製造メーカーにて数多くの施工作業・装置納入の実績を有する。
