2024.01.31
液中パーティクルカウンタ Ultra DI® 20 Plus
PMS日本支社
冷却機構が安定した高精度測定を実現
純水用液中パーティクルカウンタ「Ultra DI® 20 Plus」は最先端の製造分野で使用される超純水に求められる微粒子管理に対応する装置である。流量75ml/minで測定し、20nmの微粒子を検出する。冷却機構を持ち装置内部で発生する熱を効率よく外部に放出するため、恒温槽を必要としない。安定した内部温度により信頼性・再現性の高い測定データを提供する。
高精度測定を実現する一方、冷却機構を持ち恒温槽を必要しないという特長によりコストとメンテナンスの負担を軽減する。安定した装置内部温度はレーザーの過度な劣化を防ぐことが期待できる。また、 恒温槽が不要なため設置・入替・移動をスムーズに行うことが可能である。
