2024.01.31
高軟化点液状ワックス スペースリキッド VA-45373 その他
日化精工株式会社
半導体・エレクトロニクス工程のお困りごと解決に貢献
高軟化点液状ワックス「スペースリキッド」は支持基板にリジッドに固定することで、研削による薄化工程から裏面成型の真空高温プロセスまでを一気通貫で流すことが可能。コート剤「ナノシェルター」はレーザーでの個片化工程においてデブリを低減させ、「ナノブロッカー」はブレードダイシングでのダスト付着やパット腐食を抑制してそれぞれ生産性向上に寄与する。
「スペースリキッド」：反りのあるデバイスウェハーも強固に固定可能。またプロセス終了後は一般的な有機溶剤で容易に洗浄が可能。
「ナノシェルター」：デブリ・ドロスを低減する。
「ナノブロッカー」：DSシリーズではダスト付着やパット腐食を抑制、DCRシリーズではカット品位の向上や加工速度UPの効果が期待できる。
国内外の化合物デバイスの工程ででの使用実績を有する（GaAs、InP、SiC、GaNなど）
