2024.01.31
全面膜厚測定ユニット（ESTM: Entire Surface Thickness Measurement Unit）
株式会社ヒューテック
In-Situ全数全面膜厚検査を実現、秒間30万点の高速測定
「全面膜厚測定ユニット」はウェハー全面の膜厚を測定し、スポットタイプの測定では発見することが困難な膜厚のムラや異常を検出可能である。また同製品の特徴である高速処理によりIn-Situで全数全面膜厚測定を実現している。膜厚データは外部出力可能で、プロセスへのフィードバックに利用可能である。
従来は抜き取りで測定していた膜厚測定を全数測定にすることで、不良品の流出を防ぐことができる。またIn-Situ測定により膜厚状態をモニターすることが可能となり、装置の異常などを早期に発見することが可能である。
同社はSiO2やレジストなどさまざまな膜厚測定を実施しており、測定精度や測定スピードなどに定評がある。デモ機を使用したサンプルテストも無償で提供しており、同装置をユーザーのサンプルにてテストすることが可能である。
