マイクロパーティクルピッカー CAP-series

同社の「マイクロパーティクルピッカー CAP-series」は、イメージセンサーや半導体上の異物を検出し、ゲルスティックで除去する装置である。工程途中の異物除去に効果を発揮する同製品は、以下の特徴を持つ。

・Φ2μm程度の微小なパーティクルまで検出可能
・ＦＯＶ10ｍｍ角のワンショット検査
・徹底したクリーン構造の装置
・ゲルスティックは位置、荷重制御によりデバイスダメージを抑制
・ゲルスティック自動交換機能搭載
・ゲルスティックメーカーのトレイをそのまま稼働中にセッティング可能
・設置スペース効率の良い小型な装置サイズ
・インライン接続用のバッファコンベアも装備可能

FOV10ｍｍワンショット検査で、２μｍ程度の微小パーティクル検出が可能。
洗浄工程で除去できないパーティクルは、従来オペレータが顕微鏡で観察し手作業で除去していたが、同製品を部品実装直前工程に導入することにより、歩留改善と手作業工数削減による生産性向上に寄与する。