2024.01.31
マイクロ波自動整合器 3E TUNER AMC-MU4-L2
日本高周波株式会社
半導体製造装置の効率向上に貢献
同社のマイクロ波自動整合器「3E TUNER」は、半導体製造装置や熱処理装置において、2450MHzのマイクロ波伝送に使用される。プラズマチャンバやターゲットの負荷変動に対して高速でインピーダンスマッチングを行い、反射波を低減させて装置の効率を向上を実現し、半導体製造装置や熱処理装置の高速化・自動化・効率向上に貢献する。
マイクロ波電力5kWまで自然空冷で使用可能なため、幅広いユーザーに利用されている。
マイクロ波技術を駆使して自社で設計と製造を行う同社。 マイクロ波自動整合器において豊富な販売実績を有し、 他社製品からの置き換え、手動整合器からの置き換えにも対応する。
