特集記事

株式会社フェローテックホールディングス

石英・セラミックス・シリコン・CVD-SiCを1社で提供「半導体製造装置向け部材提供」

フェローテックグループでは、半導体製造装置向けの多様な部材を取り扱っており、石英、セラミックス、シリコン、CVD-SiCの4種類の高純度素材を一社で提供できる独自の強みを持つ。これらの素材は、半導体製造工程の微細化が進む中、プラズマ処理や高熱処理など厳しい環境下での使用の要求に応えるものである。

同社の強みは、最適な素材の提案力と中国での大量生産による高い供給力にある。主要取引先としては、アプライドマテリアルズ、ラムリサーチ、東京エレクトロン、日立ハイテック、スクリーンなどの国内外の大手製造装置メーカーが挙げられる。また、中国市場でもナウラやAMECなどの成長著しい企業に対して大規模な納入実績を誇っている。

詳細:https://www.ferrotec.co.jp/

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