特許機器株式会社は、振動対策を専門とする企業であり、半導体製造装置や分析装置など、振動環境の高度な制御を必要とする精密機器向けの「除振台」を主要製品としている。この除振台は、床や外部からの振動を全周波数帯域で増幅なく効果的に除去し、装置が適切に機能する環境を整える。
同製品は、国内外の半導体製造装置メーカーや電子顕微鏡、分析装置メーカーに広く導入されている。特にその堅牢性と優れたアフターサービスが高く評価されており、海外市場でも強い支持を得ている。これまでの導入実績は世界トップクラスを誇る。
詳細:https://www.tokkyokiki.co.jp/common/pdf/product/nanotechnology/active_isolation_unit.pdf