2024.01.31
シリコン窒化膜 選択的吸着材 ナノひっつき虫™
株式会社ダイセル
シリコン窒化膜に選択的に吸着
「ナノひっつき虫」は半導体製造に使用されるシリコン窒化膜に特異的に吸着し保護膜を形成、バッファー度フッ酸やフッ酸等のエッチング液からシリコン窒化膜を保護する。性状が似通ったシリコン酸化膜とシリコン窒化膜において、シリコン窒化膜だけに吸着し樹脂膜を形成する前例のない製品である。
シリコン窒化膜表面に特異的に吸着し、バッファードフッ酸（BHF）やフッ酸（HF）などのエッチング液からシリコン窒化膜を保護し、シリコン酸化膜に対するエッチング選択比を改善する。目的とするシリコン酸化膜のエッチングには悪影響を与えないため、半導体製造プロセスの生産性はそのままに、副反応であるシリコン窒化膜のエッチングを抑制する。
現在、複数社のデバイスメーカーによる評価検討が進行中である。
