非接触3D計測システム クイックビジョンWLI Proシリーズ

「クイックビジョンWLI Pro」は画像測定機に白色光干渉計を搭載し、3D形状による寸法測定と表面粗さ解析が可能な複合測定機である。アスペクト比が高いため、微細な配線のライン・スペースの測定、導体厚の測定、絶縁層間材などを粗化したあとの表面粗さの測定が可能となる。

パッケージ基板の縦配線などでレーザー加工されたVia径・深さの計測が可能。小径Via（Φ20μm）にも対応し、従来は計測用SEMなどで測定していた微小形状も製造工程内で計測できる。またマガジンやFOUPによる試料の自動搬送システムを構築できるため、測定物搬送の自動化により生産性を向上させ、かつ試料へのコンタミ付着を低減できる。

「クイックビジョンPro」シリーズは全機種にストロボ照明を標準装備。本体駆動とストロボ照明を同期させるストリーム機能により、本体を停止することなく座標寸法計測が可能。これにより全ダイの位置情報取得のリードタイムを従来機比1/5に大幅短縮した。