2024.01.31
共焦点ラマン顕微鏡 alpha300 Semiconductor Edition
オックスフォード・インストゥルメンツ株式会社
半導体材料のケミカルイメージングに特化したハイエンド共焦点ラマン顕微鏡
「alpha300 Semiconductor Edition」は半導体研究開発用に特別に構成された共焦点ラマン顕微鏡。アクティブ除振機能、光学式プロフィロメータによるフォーカス・ポイントの自動補正機能、測定手順の標準化や遠隔操作のための自動化機能を備え、さらに最大12インチ（300mm）の試料を搭載できる大面積スキャニングステージが標準装備される。
ウェハの化学組成、結晶品質、歪み（ひずみ）、およびドーピング特性評価を非破壊で高速で解析し、次世代半導体の研究開発や製造の生産性を向上させる。
