2024.01.31
IPAミスト直接置換乾燥装置
ワイエイシイメカトロニクス株式会社
薄ウェハの乾燥をターゲットにして、さらに環境負荷低減に貢献
「IPAミスト直接置換乾燥装置」はウォーターマークレス乾燥で乾燥ガスに常温のIPAミストを使用している。従来の乾燥装置では防爆仕様を求められたが、同製品で使用するIPAミスト量は国で定められている基準濃度以下のため防爆仕様レスを実現した。
今まで洗浄後にSiウェハーに残っていたウォーターマークを、同ウェハーを大気に曝すことなく「純水➡️IPA」に直接置換することで水滴の残留しない表面が得られる。また従来のIPAベーパー乾燥装置と比べて消費量を約１/10に低減した。
IPAベーパー乾燥装置は3000台以上、IPAミスト直接置換乾燥装置は350台以上の販売実績を有する。
