非接触三次元測定装置「NH-3SPs」

 三鷹光器株式会社は宇宙開発機器の技術を産業界に応用し、各業界の原器となる精密機器を製作している企業だ。 なかでもレーザオートフォーカスを用いた非接触三次元測定装置は国内の半導体産業や超精密加工分野で広く普及し、日本の測定技術としてISO-25178（三次元形状・表面の粗さの国際規格）に「ポイントオートフォーカス法」と命名され登録された。今後、世界に向けてこの「新技術」を提供を進めていく計画だ。

同技術を用いた、大型ワークにも対応可能な 非接触三次元測定装置 NHシリーズは高精度と使いやすさを実現し、 これまでの測定課題を解決する。

NHシリーズの特徴

    ・測定対象を傷つけることなく測定が可能
    ・急斜面や凹凸の大きな測定が得意
    ・鏡面やレンズなどの透明体もダイレクトに測定が可能