2024.01.31
超高精度6軸アライメントステージ RSTZシリーズ
神津精機株式会社
基板の6軸アライメントを1台で！300kgの負荷にも対応
超高精度6軸アライメントステージ「RSTZシリーズ」は、駆動ユニットにダブルクサビ方式を使用したパラレルリンク機構を採用。それにより従来のアライメントステージでは別途追加が必要だった昇降・チルトの駆動を可能にした。
半導体業界をはじめ多くの分野で微細化が進展するなか、同シリーズは直動方向で0.1μm、角度方向で0.1秒の位置決め追従性を備えており、各種検査装置、製造装置の中で対象ワークの微小かつ正確なアライメント調整を安定的に行うことが可能である。指令値に対する確実な位置決めはタクトタイムの向上にも繋がる。また高剛性クロスローラガイドを採用することで、300kgの高負荷にも対応可能である。
「RSTZシリーズ」はリリース直後にもかかわらずマイクロLED関連業界をはじめ、数社への納入実績を有する。
