熱解析技術を活用した「丸型ホットプレート」、高い温度均一性を実現

株式会社八光電機は、熱源や温度センサー・コントローラーなど、さまざまな産業向けに加熱システムを研究・開発し、提供している。同社は真空機器・真空装置の総合展示会「VACUUM2025真空展」（会期は2025年12月3～5日）に出展し、製品をPRした。

円形ワーク加熱用の灼熱加工工具「丸型ホットプレート」は、長年にわたり蓄積してきた熱解析技術を活用した製品となる。CVD（化学気相成長）熱処理やウエハー加熱、電子部品の熱処理など、精密な温度管理が求められる分野での使用を想定している。
一般的なホットプレートは中心部の温度が高く、周辺は低くなるものだが、「丸型ホットプレート」は温度のばらつきを抑え、高い温度均一性を誇る。
熱源であるシーズヒーターとその周辺部品にはステンレス材を使用し、真空中でも安定した加熱性能を確保している。
規格品ラインアップ仕様は最高使用温度が300℃、表面粗さがRa1.6（算術平均粗さの値が1.6μm）、平面度が0.1mm以下と、精密加熱用途に対応する仕様となっている。温度センサーにはシース熱電対Kタイプを標準装備し、安定的に温度を制御できる。温度制御には同社の温調器「サーモ200」の使用を推奨する。
また、真空中用と大気中用の2タイプを用意しており、出力は750Wから最大3kWまでと幅広く、プレートサイズ（直径180／230／330mm）も用途に応じて選択できる。
同製品は、空気中の微粒子や微生物を制御したクリーン環境下や、真空環境下での使用を考慮した。プレート材質にはアルミ材（A5052）を採用し、表面には硬質アルマイト処理を施すことで、耐食性および耐摩耗性を向上させている。

同社では、上記規格品に加え、寸法や仕様を変更した特注品にも対応しており、ユーザーの装置構成やプロセス条件に合わせた提案が可能だ。今後も高精度な加熱技術を強みに、半導体・電子部品関連分野での需要拡大を見込む。