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株式会社大日本科研
独自の露光技術を用いて、直接パターンを高速描画！「Maskless露光装置」
大日本科研は、前工程で重要なプロセスとなる、露光装置を製造、販売しているメーカだ。今回展では、フィルム用の「Roll to Roll 露光装置」と、フォトマスクを必要としない「Maskless 露光装置」をメインとして展示を行った。
同社は量よりも質をモットーとし、クライアントの要望に沿って、カスタマイズで装置を製作する。同社の技術により、今までは手動でしか処理できなかった基板が自動化できるなど、さまざまな可能性が広がる。
同社は創業から、2600台以上の露光装置の販売台数を誇り、基板サイズも小さいものはφ2"から、大きいものは4m級のガラス基板まで対応実績がある。
