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基板検査 2017.03.27

直径1mm以下の微小異物を精度良く測定可能な分析キットを発売

基板の窓口編集部

直径1mm以下の微小異物を精度良く測定可能な分析キットを発売

(株)島津製作所は、同社のエネルギー分散型蛍光X線分析装置「EDX-7000」および「EDX-8000」向けに、直径1mm以下の異物や微小領域のめっき厚などの分析に威力を発揮する「微小部分析キット」を3月27日に発売する。

本キットは、「EDX-7000/8000」のX線照射径を最小0.3mm径まで絞ることができる微小部対応コリメータプレートと、解像度を約2.5倍向上させる試料観察カメラを構成に含んでいる。X線の照射径に対して分析対象が小さすぎる場合、対象領域外への照射がデータに影響を与えることがあったが、本キットによってX線の照射径を絞ることで、必要な領域のみを高精度に分析しやすくなる。微小な異物や小さな領域のめっき厚などの正確な分析に最適である。

【開発の背景】
食品や電機・電子、素材など幅広い業界の製造現場や品質管理部門では、異物の解析に対する重要性が高まっている。異物分析の分野において、無機元素の同定に適したEDXは主に金属の解析に用いられており、同社の装置は優れた汎用性や操作性が評価されて様々な分野で使用されている。近年は分析対象も微細化しており、同社のEDXでより小さな試料を正確に分析したいという要望が多く届いていた。

このようなニーズに応えるため、同社は、運用方法をそのままに微小領域の分析精度を高めることをコンセプトに「微小部分析キット」を開発した。同社は、異物分析をサポートするソリューションの提供を推進している。

【新製品の特長】
標準の「EDX-7000/8000」の最小X線照射径は直径1mmなのに対し、キットに含まれる微小部対応コリメータプレートによってX線照射径を最小で直径0.3mmまで絞ることが可能になるため、微小な領域のみをより正確に分析できる。X線の照射径は、直径0.3mm、1mm、3mm、10mmの4段階に切り替え可能である。また、装置内部の試料観察カメラを、キットに含まれる高解像度カメラへ換装することで、試料画像の解像度が約2.5倍高まる。微細異物を始めとする試料を拡大して観察する際や、分析結果を画像とともに保存する際に有用である。

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基板の窓口編集部

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