ニュース2025.07.15
9月26日(金)の9:45-11:45と13:15-15:15に(2回は同一内容)、大阪産業技術研究所(ORIST)が技術講習会『高速シリコンディープエッチング装置』を開催。
大阪府和泉市・大阪産業技術研究所和泉センターにて。参加費無料。各回定員3名。DRIE装置を用いたMEMS加工の普及を目的。
詳細は https://orist.jp/dl/izumi/seminar/2025/09/20250926_sirikon.pdf に。
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