紫外線透過率とは
ultraviolet permeability
透明材料における紫外線の入射光と透過光の強度比を示す指標である。紫外線を利用したパターン作成において、露光装置のカバーガラスやアクリル板が紫外線をどの程度吸収するかを把握することで、適切な光量調整を行うことが可能となる。
ultraviolet permeability
透明材料における紫外線の入射光と透過光の強度比を示す指標である。紫外線を利用したパターン作成において、露光装置のカバーガラスやアクリル板が紫外線をどの程度吸収するかを把握することで、適切な光量調整を行うことが可能となる。