ジアゾ材料とは
diazo material
ジアゾ化合物は、官能基 =N⁺=N⁻ を含む化合物から構成される材料の総称である。この基は光の影響を受けて変化し、感光性を有する材料となる。これらの化合物を用いることで、光透過性に優れたマスク材料の作製が可能となる。
diazo material
ジアゾ化合物は、官能基 =N⁺=N⁻ を含む化合物から構成される材料の総称である。この基は光の影響を受けて変化し、感光性を有する材料となる。これらの化合物を用いることで、光透過性に優れたマスク材料の作製が可能となる。