MEMSとは
micro electro mechanical systems
機械要素部品、センサ、アクチュエータ、電子回路などを、シリコン基板、ガラス基板、有機材料の上に集積化したデバイスを指す。プロセス上の制約や材料の特性により、機械構造と電子回路が別のチップとして構成される場合もあり、そのようなハイブリッド構造もMEMSに含まれる。
micro electro mechanical systems
機械要素部品、センサ、アクチュエータ、電子回路などを、シリコン基板、ガラス基板、有機材料の上に集積化したデバイスを指す。プロセス上の制約や材料の特性により、機械構造と電子回路が別のチップとして構成される場合もあり、そのようなハイブリッド構造もMEMSに含まれる。