プリント基板(PCB)用語集

MEMSとは

micro electro mechanical systems

機械要素部品、センサ、アクチュエータ、電子回路などを、シリコン基板、ガラス基板、有機材料の上に集積化したデバイスを指す。プロセス上の制約や材料の特性により、機械構造と電子回路が別のチップとして構成される場合もあり、そのようなハイブリッド構造もMEMSに含まれる。

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