デクリネーション角とは
中心光源の平行度に基づき、照射面に対する光の角度を表すものである。マスクパターンと露光されたパターンとの間で生じるずれを意味する。点光源を使用すると、中心から外れた領域の入射光に一定の角度が生じ、これがマスクパターンに対する露光パターンのずれとして現れる。
参考用語:コリメーション角。
中心光源の平行度に基づき、照射面に対する光の角度を表すものである。マスクパターンと露光されたパターンとの間で生じるずれを意味する。点光源を使用すると、中心から外れた領域の入射光に一定の角度が生じ、これがマスクパターンに対する露光パターンのずれとして現れる。
参考用語:コリメーション角。