電子プローブマイクロアナライザとは

electron probe microanalyser, EPMA

細く絞った電子線を試料に照射し、発生した特性X線を検出することで、試料表面の元素分析を行う装置である。電子線を走査することで、SEMと同様の画像を取得でき、表面の元素分布を観察することが可能である。X線分析には、WDS（波長分散型分光分析）またはEDS（エネルギー分散型分光分析）が用いられる。