密着露光とは
contact exposure
フォトマスクを感光剤を塗布したパネル上のレジストに密着させて露光を行う方法である。フィルムとパネルが密着しているため、ボケが発生せず、精細なパターンの形成に適している。密着には真空吸引を用い、大気圧によって密着させる。コンタクト露光とも呼ばれる。
contact exposure
フォトマスクを感光剤を塗布したパネル上のレジストに密着させて露光を行う方法である。フィルムとパネルが密着しているため、ボケが発生せず、精細なパターンの形成に適している。密着には真空吸引を用い、大気圧によって密着させる。コンタクト露光とも呼ばれる。