ステップアンドリピート法とは

step-and-repeat method

同じパターンを繰り返しステップ送りしながら位置を変えて露光し、製造用の多面取りフィルムを作成する方法である。小面積ごとに露光を行うため、パターン精度を向上させることができる。主に半導体のパターン露光用マスク（レチクル）の作成に用いられる。レーザー作画技術の発展により、現在のプリント配線板のマスクフィルムではほとんど使用されなくなったが、繰り返しパターンが多いパッケージ基板の露光には引き続き適用されている。