CPVSとは
Cyclic Pulse Voltammetric Stripping Method (サイクリック・パルス・ボルタメトリック・ストリッピング法)
CVS(Cyclic Voltammetric Stripping)法は、銅めっき液の管理のために開発された手法であり、添加剤、塩素イオン濃度、不純物などを測定する。回転円盤電極の電位を負電位と正電位の間で周期的に変化させると、銅の析出・溶解が行われる。このときの電流変化は液中の添加剤などの影響を受けるため、その変化を測定することで液の状態を分析する。CPVS法は、この電位変化を間歇的にパルス状に印加することで、より高い精度を実現した方法である。