パスボックスとは
pass box
クリーンルームと外部との間に設置された物品の搬入・搬出設備である。塵埃の流入を防ぐために、クリーンルーム側と外部側に扉を備えており、片側の扉を開けた状態ではもう一方の扉がロックされる構造となっている。さらに、塵埃の回収や防止システムを導入することで、清浄な環境を維持する必要がある。
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クリーンルームと外部との間に設置された物品の搬入・搬出設備である。塵埃の流入を防ぐために、クリーンルーム側と外部側に扉を備えており、片側の扉を開けた状態ではもう一方の扉がロックされる構造となっている。さらに、塵埃の回収や防止システムを導入することで、清浄な環境を維持する必要がある。