はく離液とは

stripping agent

エッチング後にレジストを除去するための液体である。硬化したレジストを膨潤させ、軟化させて除去する。レジストが有機溶剤系の場合、塩化メチレンを主成分とするはく離液を使用する。一方、アルカリ系の場合は、水酸化ナトリウムやアミンを主成分とするはく離液を用いる。環境への配慮から、近年では有機溶剤の使用はほとんど行われていない。