研磨機とは

Abrasive Machine, Mechanical Scrubbing Machine

研磨を行うための装置 である。機械研磨に使用される装置には、以下の種類がある。

• 湿式研磨機（研磨面に注水しながら行い、粗度の良い仕上がりとブラシの焼き付き防止が可能）
• 乾式研磨機（注水せずに行う方式）

また、化学研磨機にはスプレー方式と浸漬方式があり、スプレー方式では研磨液を噴霧し、浸漬方式では液中に基板を浸して処理を行う。