塩化第二銅エッチング液とは
Cupric Chloride Etchant
塩化銅(Ⅱ)(塩化第二銅 CuCl₂)を主成分とする銅エッチング液 である。
濃度:約300 g/L
エッチング速度は塩化第二鉄エッチング液に比べて遅い
塩素イオンを増やすとサイドエッチングが発生しやすくなる
エッチング反応によって生じる塩化第一銅(Cu₂Cl₂)が銅表面に膜を形成し、この膜の溶解速度がエッチング速度を決定 する。塩酸(HCl)や酸化剤(H₂O₂ など)を添加し、塩化第一銅を塩化第二銅に再生することで、エッチング能力を維持する。