レーザ顕微鏡とは

Confocal Laser Scanning Microscope (CLSM)

共焦点光学系を備えた顕微鏡であり、試料の立体形状や表面状態を同時に観察できる装置である。レーザを用いて試料を XY方向に走査し、共焦点光学系によって焦点が合った部分の光（反射光や蛍光）を検知する。これを Z方向にも移動させて走査を繰り返すことで、三次元的な情報を得ることが可能である。この装置は共焦点レーザ走査顕微鏡とも呼ばれ、導体やめっき断面の非破壊検査に広く活用されている。また、キセノンランプを光源とするものは被観察物の色再現性に優れており、この場合はレーザ顕微鏡ではなく「共焦点顕微鏡」として区別される。