エキシマレーザとは

excimer laser

「エキシマ」は excited dimer の複合語で、励起状態でのみ存在する分子を指す。この分子が解離し、元の状態に戻る際に放出されるエネルギーを光として発振したものがエキシマレーザである。Kr と F₂ などの希ガスとハロゲンを混合したガスを放電によって励起し、解離させることで得られる。この組成によって異なる波長の紫外線が得られる。