エアーシャワとは

air shower

クリーンルームの入口に設置され、入室者の身体や服装に付着した塵埃を高圧エアーで除去する装置である。入室時には専用の服に着替え、帽子で髪を覆い、専用の靴に履き替えた上でエアーシャワ室を通過する。シャワ室内では左右上下からクリーンエアーが吹き付けられ、床には塵埃がたまらないようスノコ状の構造が採用されており、下部で塵埃を回収する仕組みになっている。