防塵とは
dust control
塵や埃の影響を防ぐために行う対策である。微細化されたパターンの製造工程では、微小な塵埃がショートや断線の原因となることがある。そのため、クリーンルームの使用や防塵服の着用などの管理対策が求められる。全室をクリーン化することはコストが高いため、部分的な防塵対策が一般的である。
dust control
塵や埃の影響を防ぐために行う対策である。微細化されたパターンの製造工程では、微小な塵埃がショートや断線の原因となることがある。そのため、クリーンルームの使用や防塵服の着用などの管理対策が求められる。全室をクリーン化することはコストが高いため、部分的な防塵対策が一般的である。