感光性レジストとは

photosensitive resist, photoresist

エッチングレジスト、めっきレジスト、ソルダレジストなどの画像パターン形成に使用される感光性の有機被膜である。ドライフィルムタイプと液状タイプがあり、現像液には有機溶剤を使用するものとアルカリ水溶液を用いるものがある。近年は廃液処理や大気汚染への配慮から、アルカリ水溶液が広く用いられている。